• title: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems
    issn: 1537-1646
    eissn:
    publisher: Bellingham$$SPIE
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xiwen328a J072801 2006 5 1-4 无电子版
xiwen328a J072123 2005 4 1-4 无电子版
xiwen328a J071153 2004 3 1-4 无电子版

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