序号
634
marc_id
xiwen425
期刊名称
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
期刊首字母
J
ISSN
0734-211X
年、卷、期信息
Ser.2,v.1,no.1(Jan./Mar.1983)-v.8,no.6(Nov./Dec.1990)
出版商信息
New York$$Published for the Society by the American Institute of Physics
语种
英
期刊关联性
