序号
632
marc_id
xiwen424a
期刊名称
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement and Phenomena
期刊首字母
J
ISSN
1071-1023
年、卷、期信息
Ser.2,v.9(1991)-v.28no.1(2010)
期刊网站链接
https://avs.scitation.org/journal/jvb
外网可看年限信息
1999-
组团信息
AIP-单订
出版商信息
New York$$the American Institute of Physics
语种
英
出版平台
American Institute of Physics
备注
备注：拆分成ab
期刊关联性
