• title: Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems
    issn: 1537-1646
    eissn:
    publisher: Bellingham$$SPIE
登录号 年 卷 期
J072801 2006 5 1-4
J072123 2005 4 1-4
J071153 2004 3 1-4